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    科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD
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    科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD

    • 分類:公司新聞
    • 發布時間:2022-04-02
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    【概要描述】嘉興科民電子推出固態ALD設備,攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明,固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。

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    科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD

    【概要描述】嘉興科民電子推出固態ALD設備,攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明,固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。

    • 分類:公司新聞
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    • 發布時間:2022-04-02
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    科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD

    嘉興科民電子推出固態ALD設備,攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明,固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。

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