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科民ALD實現2.5s/cycle成膜

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分類：公司新聞
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【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

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科民ALD實現2.5s/cycle成膜

【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

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　　科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

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